- The International Journal of Advanced Manufacturing Technology
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- Published:
- Volume 33, pages 95–102, (2007)
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M. R. H. Knowles, G. Rutterford, D. Karnakis & A. Ferguson
概要
- 正式にpublish されたものか分からないが、ns-laserについて示唆に富んでいるので、レビュー
- 確かに超短パルスレーザは品質の点ではメリットが大きいが、コストや技術の成熟性等の点でまだまだ産業界には受け入れられていない。ns-laserでも使いこなせば、良い加工ができることを示している。
- 20nsレーザで金属加工は、1GW/cm^2, もしくは, 20J/cm^2 以下に抑えると良い
- 波長の選択も重要。グリーンレーザは品質の点でベスト。
- 加工時間短縮の点では、高繰り返し周波数が必要
- セラミック加工は、金属加工と様相が異なる。溶融が起こりにくいがクラックが問題となる。プローブピンのような狭ピッチの穴加工も可能となる。
- 樹脂加工は、UVレーザが有利。エキシマレーザは、高パルスエネルギーて低繰り返し周波数であり、マスク結像系の加工が最適。
- 固体レーザは、高繰り返し周波数で低いパルスエネルギーで、ダイレクトライティング用途で利用される。
所感
- ＳＥＭ写真を見ると、どれも綺麗な加工ができている。
- ns-laserとps-laserの両方を使用した経験があるが、筆者の言うようにns-laserでも十分に綺麗な加工ができる場合がある。