- August 2005
- Journal of Applied Physics 98(3)
Authors:
AC Forsman、P. S. Banks、Michael Perry、General Atomics、Mike Campbell
概要
- レーザー加工性の向上の提案
- 波長532nmの時間間隔の短い（30～150ns）ナノ秒パルス（2ns）を連続的に照射して加工すると、加工性が向上するか検討
- 材料は、ステンレスSUS304とアルミ
- 材料に加わる圧力を測定するため干渉速度計（VISAR）を使用
結果
- 重ね合わせたパルスでの加工の方が一般的に加工性向上した
- 例えば、1mm厚SUS板に0.2secでφ40umの貫通穴加工ができた
- 原理的には、最初のパルスで発生した微小粉体が表面付近に漂っており、それを2番目のパルスで加速させ一緒に加工しているようだ
- 材質により加工条件が異なるが、どちらの材料に対しても加工性が向上している
所感
- 加工条件の最適化は必要であるが、このような高アスペクトの穴を加工できるのは、魅力的な技術である
- プロセスウインドウも広いようなので、実使用にも耐えられそうである