Journal of Physics: Conference Series, Volume 59, Issue 1, pp. 700-703 (2007). Pub Date: April 2007
概要
- 約2mm×0.5mmサイズの小さなelectro-termal アクチュエータをns-laser, fs-laser で切断加工
- レーザーの違いによる加工品質の差、アクチュエータの特性の差を評価
- ns-laser: Q-switch, Nd:YAG laser, 20ns, 30kHz, 355nm
- fs-laser : Clark-MXR CPA 2010, 150fs, 775nm, 1W, mJ@1kHz
結果
- SEM観察によると、n-, fs-laser で加工品質に大きな違いがあり、fs-laser の方が高品質な加工を実現できている。
- 変位特性、電気特性、発生力特性は、ns-, fs-laser 加工でかなり異なっている。
- 発生変位は、fs-laser 加工の方が大きい。これは、加工品質が良いためだと思われる。
- しかし、少ない電力で大きな発生力を得ているのはns-laser 加工の方で、これは、fs-laser による座量の内部応力が影響していると推測している。
所感
- fs-laser の方が、高品質な加工となるのは、予想通り。
- しかし、内部へ意外にもダメージがありそうで、今後は注意して検討する必要がありそう。