Journal of Physics: Conference Series
K Garasz1 and M Kocik1
Journal of Physics: Conference Series, Volume 1859, XXI International Conference and School on Quantum Electronics 21-25 September 2020
概要
- 金属箔の微細加工について、理論的、実験的な検証
- 研究室で開発されたサブピコ秒レーザーYb:KYW、100-400kHz、15W、UV,VIS,IR波長と市販のフェムト秒レーザーTi:S,、266-800nm可変、1kHz
- 加工結果は、光学顕微鏡で測定、観察
- ステンレス、アルミ（厚手、薄手）、ニッケル、鉛、銅、真鍮に溝加工
- フルエンス、繰り返し周波数、走査速度、波長を変化させて、溝幅の評価
結果
- パルスエネルギーが減少すると溝幅が狭くなる。
- 繰り返し周波数が低くなると、加工性が向上する。
- 走査速度を遅くすると加工量が増大する。
- 波長によって反射率も異なり、高反射率の材料は加工しにくい。
所感
- おおむね予想通りの加工性となっていると思われる。
- 実用的によく使用される材料を多く扱っているので、実践的な研究です。