今回は、こちらの論文を見てみます。ナノ秒レーザーでのバーストの影響を観察した結果です。

Influence of Nanosecond Pulse Bursts at High Repetition Rates on Ablation Process.

• Source: Journal of Laser Micro / Nanoengineering . Apr2021, Vol. 16 Issue 1, p14-18. 5p.
• Author(s): Linden, John; Cohen, Sharona; Berg, Yuval; Kotler, Zvi; Zalevsky, Zeev

概要

• ナノ秒レーザーで繰り返し周波数やバーストモードがどのようにアブレーションプロセスに影響するか確認
• 加工対象は、銅層を含む多層材料
• レーザーは、ナノ秒ファイバーレーザー、343nm、1-30ns、50-200kHz（5ns×3回のバーストモードも）
• ガルバノスキャナ、100mmfΘレンズを用い、スポットサイズ16µｍでの加工
• pump-probeの原理で11ns毎に強度を取得。反射・散乱はフィルター付きPDで取得

結論

• PRR(pulse rep rate)によるフルエンスとビーム径を見ると、ともに高PRRで高まっている。
• 高いフルエンスでは、アブレーションレートは高まるが、プラズマシールディングの影響がでて、頭打ちになることもあり。
• バーストモードは、高加工効率には、効果的

所感

• パルスレーザーを用いると、高品質の加工ができるが、このように各パラメータ相互の影響をテストする必要がある。
• バーストモードは、高速加工に効果的