様々な分析手法、解析技術を用いて、お客様が知りたい情報を的確に取得して、わかりやすい形で提供いたします。
■ 使用機器・評価内容
以下の分析、評価が可能です。また、この他の手法、技術にも対応可能ですので、お気軽にお問合せください。
| 使用機器 | 評価内容 | 適用例 |
| SEM（走査電子顕微鏡） | 表面観察、寸法測定 | 試料表面観察、粒径測定、試料断面観察 |
| TEM（透過電子顕微鏡） | 表面観察、寸法測定 | 形状・形態の観察、微粒子の寸法・形状評価 |
| AFM（原子間力顕微鏡） | 表面観察、寸法測定、段差測定 | 基板や薄膜の表面粗さ評価、MEMS の評価 |
| 接触式段差計 | 寸法測定、段差測定 | 段差測定、プローブ先端R測定 |
| 分光エリプソメーター | 膜厚測定 | 薄膜の厚さ測定、屈折率測定 |
■ ご依頼からの流れ
ご依頼から、お打合せ、評価、納品までの流れは以下に記載してあります。
神奈川県下をはじめ、全国からのご依頼に対応いたします。また、近隣の機関とも連携して最適な分析・評価を実施するように心がけています。詳しくはお問合せください。
今後、対応できる測定機器、分析、評価内容を拡充していきます。